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J-GLOBAL ID：201703017530656533

圧電アクチュエータ用駆動回路、圧電アクチュエータの駆動方法及び固有振動数測定装置

Inventor： 黒田 雅治 ,  藤澤 悟 ,  藪野 浩司 ,  國分 陽介
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
Agent (4)： 森 哲也 ,  田中 秀▲てつ▼ ,  廣瀬 一 ,  宮坂 徹
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2013074562
Publication number (International publication number)：2014200143
Patent number：6089168
Application date： Mar. 29, 2013
Publication date： Oct. 23, 2014
Claim (excerpt)：

【請求項1】 機械系に力を伝達する圧電アクチュエータと共に該機械系とカップリングした状態で前記圧電アクチュエータを駆動する圧電アクチュエータ用駆動回路であって、 前記圧電アクチュエータの端子間電圧νに基づき、該圧電アクチュエータに前記端子間電圧νに比例した駆動電流iであって、当該圧電アクチュエータ用駆動回路を含むシステム全体を、機械系の固有振動数付近で自励発振させるための駆動電流iを供給することを特徴とする圧電アクチュエータ用駆動回路。

IPC (4)：

H02N 2/06 ( 200 6.01) ,  H01L 41/04 ( 200 6.01) ,  H01L 41/09 ( 200 6.01) ,  H01L 41/113 ( 200 6.01)

FI (4)：

H02N 2/06 ,  H01L 41/04 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/113

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 静電型変換手段の容量成分低減回路および静電型変換手段の駆動装置ならびに検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-138289   Applicant：富川義朗
• 圧電アクチュエータの制御システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-331332   Applicant：日本フィリップス株式会社
• 電気機械変換素子の駆動装置、モータ装置、及びロボット装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-052848   Applicant：株式会社ニコン

Cited by examiner (3)

• 静電型変換手段の容量成分低減回路および静電型変換手段の駆動装置ならびに検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-138289   Applicant：富川義朗
• 圧電アクチュエータの制御システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-331332   Applicant：日本フィリップス株式会社
• 電気機械変換素子の駆動装置、モータ装置、及びロボット装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-052848   Applicant：株式会社ニコン