Art

J-GLOBAL ID：201802240895858622   Reference number：18A0910735

RF magnetized ring-shaped plasma for target utilization obtained with circular magnet monopole arrangement

円形磁石モノポール配置で得られたターゲット用のRF磁化リング形状プラズマ

Author (3)： HOSSAIN Md. Amzad (Saga Univ., Saga, JPN) ,  HOSSAIN Md. Amzad (Jessore Univ. Sci. and Technol., Jessore, BGD) ,  OHTSU Yasunori (Saga Univ., Saga, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 57  Issue： 1S  Page： 01AA05.1-01AA05.7  Publication year： Jan. 2018 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： magnetic monopole ,  *target ,  *RF sputtering ,  sputtering ,  electron temperature ,  electron density ,  *magnetron sputtering ,  mean free path ,  Langmuir probe ,  *plasma diagnostics ,  electron mean free path
Semi thesaurus term： plasma sputtering

JST classification (2)： Plasma devices  (BJ02082I) ,  Plasma diagnostics  (BJ02090L)

Terms in the title (8)： 円形 ,  磁石 ,  モノポール ,  ターゲット ,  RF ,  磁化 ,  リング形状 ,  プラズマ