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J-GLOBAL ID：201802256767050943   Reference number：18A1698997

縮退した多結晶AZO透明導電膜における粒界の不規則性を考慮した粒界散乱

Author (2)： MIYATA TOSHIHIRO (金沢工大 OEDS R&Dセ) ,  MINAMI TADATSUGU (金沢工大 OEDS R&Dセ)
Material： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
Volume： 79th  Page： ROMBUNNO.19p-PB8-9  Publication year： Sep. 05, 2018 
JST Material Number： Y0055B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *zinc oxide ,  doping ,  Aluminum ,  polycrystal ,  transparent conducting thin films ,  compound semiconductor ,  property ,  sputtered deposition ,  *magnetron sputtering ,  Green function ,  electrical resistivity ,  transfer matrix ,  Anderson localization ,  *carrier mobility ,  *carrier density ,  potential barrier ,  degenerate semiconductor
Semi thesaurus term： *Al-doped ZnO ,  *粒界散乱 ,  irregularity ,  *RF magnetron sputtering

JST classification (2)： Electric conduction in crystalline semiconductors  (BM03043X) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (7)： 縮退 ,  多結晶 ,  Azo ,  透明導電膜 ,  粒界 ,  不規則性 ,  散乱