測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：特許業務法人三枝国際特許事務所
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2013216949
Publication number (International publication number)：2015079684
Patent number：6308489
Application date： Oct. 18, 2013
Publication date： Apr. 23, 2015
Claim (excerpt)：

【請求項1】プラズマが発生するプラズマチャンバと、該プラズマチャンバ内の電極に進行波を与える電源と、前記電源と前記プラズマチャンバとのインピーダンスマッチングをとるインピーダンスマッチング部とを有するプラズマ処理装置を測定する測定装置であって、第1の入力および第2の入力からなる二つの入力の周波数の差に等しい周波数の信号を出力する第1のミキサと、第1の入力および第2の入力からなる二つの入力の周波数の差に等しい周波数の信号を出力する第2のミキサと、前記第1のミキサの前記第2の入力および前記第2のミキサの前記第2の入力に共通のローカル信号入力を与える単一のローカル信号源と、前記第1のミキサの前記第1の入力および前記第2のミキサの前記第1の入力に共通の補正信号入力を与えたときの、前記第1のミキサおよび前記第2のミキサの出力間のレベル差および位相差を測定する誤差測定部と、前記第1のミキサの前記第1の入力に前記進行波を与え、前記第2のミキサの前記第1の入力に前記進行波が前記プラズマチャンバによって反射された反射波を与えたときの前記第1のミキサおよび前記第2のミキサの出力から、前記プラズマチャンバ内の特性インピーダンスを測定する特性インピーダンス測定部と、前記誤差測定部の測定結果に基づき、前記特性インピーダンス測定部の導出結果を補正する誤差補正部と、前記誤差補正部によって補正された前記測定結果と、前記インピーダンスマッチング部における回路定数とから、前記プラズマチャンバ内の負荷インピーダンスを測定する負荷インピーダンス測定部と、を備えた測定装置。

IPC (2)：

H05H 1/00 ( 200 6.01) , H05H 1/46 ( 200 6.01)

FI (2)：

H05H 1/00 A , H05H 1/46 R

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

信号測定装置、信号測定方法、プログラム、記録媒体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2011-139579 Applicant：株式会社アドバンテスト
特開平4-368799
方向性結合器の特性測定方法及びその方法を用いた方向性結合器及びこの方向性結合器を備えたプラズマ処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-366398 Applicant：シャープ株式会社, 森勇藏

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Cited by examiner (2)

信号測定装置、信号測定方法、プログラム、記録媒体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2011-139579 Applicant：株式会社アドバンテスト
特開平4-368799

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