ガス濃度検出ユニット及びガス濃度測定方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：木戸良彦 , 木戸一彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2016149304
Publication number (International publication number)：2018017650
Application date： Jul. 29, 2016
Publication date： Feb. 01, 2018
Summary：

【課題】劣化や干渉による影響を排除して正確なガス濃度を連続的に、かつ、長期間にわたって測定ことができるガス濃度検出ユニット及びガス濃度測定方法を提供する。【解決手段】特定波長の測定光A1を照射する光源13と、光透過性を有するフィルタ34の光源側の面を覆う不純物成分検知体35と、該不純物成分検知体を透過した測定光の強度を検出する測定用受光部36と、不純物成分検知体に測定対象ガスを供給する測定対象ガス供給経路と、光源から不純物成分検知体に向かう測定光の一部を参照光A2として分割するビームスプリッタ14と、該ビームスプリッタで分割された参照光の強度を検出する参照用受光部16とを備えている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

測定対象ガスに含まれる不純物成分の濃度を連続的に検出するためのガス濃度検出ユニットにおいて、特定波長の測定光を照射する光源と、光透過性を有するフィルタの光源側の面を覆う不純物成分検知体と、該不純物成分検知体を透過した前記測定光の強度を検出する測定用受光部と、前記不純物成分検知体に前記測定対象ガスを供給する測定対象ガス供給経路と、前記光源から前記不純物成分検知体に向かう測定光の一部を参照光として分割するビームスプリッタと、該ビームスプリッタで分割された前記参照光の強度を検出する参照用受光部とを備えていることを特徴とするガス濃度検出ユニット。

IPC (1)：

G01N 21/59

FI (1)：

G01N21/59 Z

F-Term (9)：

2G059AA01 , 2G059BB01 , 2G059DD12 , 2G059EE01 , 2G059GG02 , 2G059JJ02 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2G059NN05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

ガス検知素子及びガス測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-267036 Applicant：三菱重工業株式会社
ガス吸光度測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2013-181842 Applicant：株式会社島津製作所
半導体レーザーを用いた水分分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-260859 Applicant：日本酸素株式会社, 竹内延夫

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