ミニマル製造装置と生産ラインと生産ラインの組み替え方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：佐野弘 , 石井明夫
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012264850
Publication number (International publication number)：2014110359
Patent number：6295024
Application date： Dec. 04, 2012
Publication date： Jun. 12, 2014
Claim (excerpt)：

【請求項1】以下の要素を有するミニマル製造装置。 (a)ミニマル製造装置本体は、前壁と後壁と左側壁と右側壁とに囲まれ、底部が底板36により保護されている。 (b)前記底板36の前記左側壁と前記右側壁の直下に位置する部分に、平行に一対の脚部が設けられている。 (c)前記底板36の直下であって前記一対の脚部に挟まれた部分には、運搬装置14の昇降機構25が差しこまれる空間を有する。 (d)床面には、前記底板36を支持する固定構造16が設けられている。 (e)該固定構造16には、接触面が平面形状の第1〜第3のV溝台66が設けられている。該第1のV溝台66は前記ミニマル製造装置本体の前記左側壁の下方付近に設けられ、該第2のV溝台66は前記右側壁の下方付近に設けられ、該第3のV溝台66は前記後壁の下方付近に設けられている。該第1のV溝台66から該第3のV溝台66までの距離と、該第2のV溝台66から該第3のV溝台66までの距離とは、略一致する。 (f)前記一対の脚部または底板には、接触面が球面状の第1〜第3の位置決め脚42が設けられていると共に、第1、第2の連結機構71が設けられている。 (g)該第1〜第3の位置決め脚42は、前記底板36が前記固定構造16に向かって下降したときに、前記固定構造16の前記第1〜第3のV溝台66にそれぞれ2個所ずつで接触して、前記底板36を位置決めすると共に前記ミニマル製造装置本体を支持するような、水平方向の向きに配置されている。 (h)前記第1の連結機構71は、前記ミニマル製造装置本体の前記左側壁の下方付近であって、前記第1のV溝台66よりも前記後壁側で且つ前記第3のV溝台66よりも前壁側の位置に配置される。前記第2の連結機構71は、前記ミニマル製造装置本体の前記右側壁の下方付近であって、前記第2のV溝台66よりも前記後壁側で且つ前記第3のV溝台66よりも前壁側の位置に配置される。該第1、第2の連結機構71は、前記底板36に設けられたフック腕72と、前記固定構造16に設けられたフック受け74とを備え、前記第1〜第3のV溝台66と第1〜第3の位置決め脚42とを用いて前記底板36が位置決めされた状態で、該フック受け74の下面側から該フック腕72の自由端が係合されて上方向の押圧力を略鉛直に加えることで、該底板36と前記固定構造16とを連結する。

IPC (2)：

H01L 21/677 ( 200 6.01) , H01L 21/02 ( 200 6.01)

FI (2)：

H01L 21/68 A , H01L 21/02 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

デバイス製造装置および方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2010-195996 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所
移載装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-183310 Applicant：ムラテックオートメーション株式会社
耐震固定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2011-008052 Applicant：村田機械株式会社

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