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J-GLOBAL ID：201003016908129210

移載装置

Inventor：
澤戸 一利

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藤原 義明

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村田 正直

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山路 孝

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桐畑 直史

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Applicant, Patent owner：
ムラテックオートメーション株式会社

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Agent (2)： 江上 達夫 ,  中村 聡延
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009183310
Publication number (International publication number)：2010212648
Application date： Aug. 06, 2009
Publication date： Sep. 24, 2010
Summary：
【課題】移載装置全体を小型に構成しつつ、処理装置に対して容易に固定する。【解決手段】移載装置(30)は、被搬送物(3)を搬送する搬送車(10)との間、及び処理装置(20)における、被搬送物又は被搬送物に収容されている被処理物を出し入れ可能なポートとの間で夫々被搬送物を移載する。移載装置は、搬送車が被搬送物を移載する移載位置からポートに至る元移載進路を、途中で遮るように配置されており、搬送車との間で被搬送物を移載可能である第1棚と、被搬送物を一時的に載置可能である第2棚と、処理装置に対し接近及び離間する方向である第1方向に、第1棚及びポートに対し被搬送物を往復移動可能であると共に、第1棚及びポートから少なくとも被搬送物分だけ第1方向に離間した第1方向位置にて被搬送物を、第1方向に交差する第2方向に往復移動可能である移動手段(32)とを備える。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
軌道に沿って走行すると共に被搬送物を搬送する搬送車との間、及び前記被搬送物に収容されている被処理物に対して処理を行う処理装置における、前記被搬送物又は前記被処理物を出し入れ可能なポートとの間で夫々前記被搬送物を移載する移載装置であって、 前記搬送車が前記被搬送物を移載する移載位置から前記ポートに至る元移載進路を、途中で遮るように配置されており、前記搬送車との間で前記被搬送物を移載可能である第1棚と、 前記被搬送物を少なくとも一時的に載置可能である第2棚と、 前記処理装置に対して接近及び離間する方向である第1方向に、前記第1棚及び前記ポートに対して前記被搬送物を往復移動可能であると共に、前記第1棚及び前記ポートから少なくとも前記被搬送物分だけ前記第1方向に離間した第1方向位置にて前記被搬送物を、前記第1方向に交差する第2方向に往復移動可能である移動手段と を備えることを特徴とする移載装置。
IPC (1)：
H01L 21/677
FI (1)：
H01L21/68 A
F-Term (6)：
5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031FA03 ,  5F031MA15 ,  5F031PA02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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