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J-GLOBAL ID：201803021150170438

近接場光学観察装置、試料含有環境セル作製方法、走査電子光学顕微鏡及び走査電子光学顕微鏡の使用方法

Inventor： 宮崎 英樹 ,  笠谷 岳士 ,  安田 剛
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人物質・材料研究機構
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2013158680
Publication number (International publication number)：2015031515
Patent number：6252930
Application date： Jul. 31, 2013
Publication date： Feb. 16, 2015
Claim (excerpt)：

【請求項1】電子顕微鏡と組み合わされる近接場光学観察装置であって、 試料を密封保持可能な空間部と、前記空間部の一方に設けられた入射窓と、前記空間部の他方に設けられた出射窓とを備えた環境セルと、発光測定モジュールとを有し、 前記入射窓が、前記電子顕微鏡の電子線による励起により発光可能な発光材料を有していることを特徴とする近接場光学観察装置。

IPC (4)：

G01N 21/03 ( 200 6.01) ,  G01N 23/225 ( 200 6.01) ,  G01N 21/17 ( 200 6.01) ,  G01Q 90/00 ( 201 0.01)

FI (4)：

G01N 21/03 Z ,  G01N 23/225 ,  G01N 21/17 N ,  G01Q 90/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 近視野光学的探査装置
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2001-507133   Applicant：レーザー-ウントメディツィン-テヒノロギーゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングベルリン
• 試料セル
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-353816   Applicant：日本分光株式会社
• 穀粒分析機の測定試料容器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-264348   Applicant：井関農機株式会社
• 試料凍結方法および冷却ホルダ並びに走査電子顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-006090   Applicant：日本電子株式会社
• 検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2012-015875   Applicant：株式会社荏原製作所
• 分注装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-318376   Applicant：古河機械金属株式会社