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J-GLOBAL ID：201903015064669303

磁気研磨装置及び磁気研磨方法

Inventor： 鄒 艶華
Applicant, Patent owner： 国立大学法人宇都宮大学
Agent (1)： 山田 毅彦
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2015239787
Publication number (International publication number)：2017104926
Patent number：6601909
Application date： Dec. 08, 2015
Publication date： Jun. 15, 2017
Claim (excerpt)：

【請求項1】 磁性を有さない砥粒を付着させた磁性粒子又は磁性を有する砥粒である磁性砥粒に第1の磁力を与えるための第1の磁極であって、極性がN極とS極との間で変動する第1の磁極と、 被研磨物体を間に挟んで配置され、前記磁性粒子又は前記磁性砥粒に第2の磁力を与えるための第2の磁極であって、変動しない極性を有する第2の磁極と、 前記第1の磁極に設けられた容器と、 前記被研磨物体に対して前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を相対的に移動させることによって前記磁性を有さない砥粒又は前記磁性砥粒で前記被研磨物体の研磨を行う移動機構と、 を備え、 前記移動機構は、前記第1の磁極の極性をN極とS極との間で変動させる制御回路を有し、前記制御回路で前記第1の磁極の極性を変動させることによって、前記容器内の研磨液と混合された前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を、前記第1の磁極と前記第2の磁極との間に形成される磁力線に沿う方向に振動させるように構成される磁気研磨装置。

IPC (2)：

B24B 31/112 ( 200 6.01) ,  B24B 37/00 ( 201 2.01)

FI (2)：

B24B 31/112 ,  B24B 37/00 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭57-163057
  
• 開口パターン付き薄板の研磨方法及び磁気研磨装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-084654   Applicant：国立大学法人宇都宮大学
• 楕円振動活用の磁気研磨方法およびその装置ならびに磁性砥粒
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-089143   Applicant：科学技術振興事業団
• 加工圧制御が不要な研磨方法および研磨剤
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-000382   Applicant：独立行政法人科学技術振興機構
• 磁気援用微細研磨装置及び磁気援用微細研磨方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-337065   Applicant：国立大学法人宇都宮大学