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J-GLOBAL ID：202002213989164871   Reference number：20A2610678

Hydrogen effects on the properties of BCN films deposited by magnetron sputtering

マグネトロンスパッタ法を用いて作製したBCN膜特性への水素の効果

Author (6)： TANIGUCHI RYU (弘前大 大学院理工学研究科) ,  KOORIYAMA HARUTO (弘前大 大学院理工学研究科) ,  KOBAYASHI YASUYUKI (弘前大 大学院理工学研究科) ,  ENTA YOSHIHARU (弘前大 大学院理工学研究科) ,  FUKIDOME HIROKAZU (東北大 電通研) ,  NAKAZAWA HIDEKI (弘前大 大学院理工学研究科)
Material： 電子情報通信学会技術研究報告(Web)  (IEICE Technical Report (Web))
Volume： 120  Issue： 217(CPM2020 11-21)  Page： 23-26 (WEB ONLY)  Publication year： Oct. 22, 2020 
JST Material Number： U2030A  ISSN： 2432-6380  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *magnetron sputtering ,  hydrogenation ,  amorphous state ,  *thin film growth ,  electrical resistivity ,  optical gap ,  defect density ,  *thin film ,  boron compound ,  carbide ,  nitride
Semi thesaurus term： boron carbonitride

JST classification (2)： Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Reference (8)：

• Vladimir L. Solozhenko, Denis Andrault, Guillaume Fiquet, Mohamed Mezouar, David C. Rubie, “Synthesis of superhard cubic BC2N”, Applied Physics Letters, vol.78, pp.1385-1387, Feb. 2001.
• Shuyan Xu, Xinxin Ma, Huiying Wen, Guangze Tang, Chunwei Li, ”Effect of annealing on the mechanical and scratch properties of BCN films obtained by magnetron sputtering deposition”, Applied Surface Science, vol.313, pp.823-827, Sept. 2014.
• Amy Y. Liu, Renata M. Wentzcovitch, Marvin L. Cohen, ”Atomic arrangement and electronic structure of BC₂N”, Physical Review B, vol.39, pp. 1760-1765, Jan. 1989.
• Vinit O. Todi, Bojanna P. Shantheyanda, Kalpathy B. Sundaram, “Influence of annealing on the optical properties of reactively sputtered BCN thin films”, Materials Chemistry and Physics, vol.141, pp.596-601, April 2013.
• Veronica S. Sulyaeva, Yurii M. Rumyantsev, Valerii G. Kesler, Marina L. Kosinova, “Synthesis and optical properties of BCxNy films deposited from N-triethylborazine and hydrogen mixture”, Thin Solid Films, vol.581, pp.59-64, April 2015.

Terms in the title (4)： マグネトロンスパッタ法 ,  作製 ,  膜特性 ,  水素