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J-GLOBAL ID：202002266834121483   Reference number：20A1230973

Mass Separation of Water Cluster Ion Beam Using Two Rotating Electric Fields and Sputtering of a Polymer Thin Film

二つの回転電場と高分子薄膜のスパッタリングを用いた水クラスタイオンビームの質量分離

Author (4)： Nojima Masashi (Research Inst. for Science and Technology, Tokyo University of Science) ,  Nojima Masashi (Faculty Science and Technology, Tokyo University of Science) ,  Mita Hiroto (Faculty Science and Technology, Tokyo University of Science) ,  Hara Kazuki (Faculty Science and Technology, Tokyo University of Science)
Material： e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web)  (表面科学とナノテクノロジー)
Volume： 18  Page： 101-105(J-STAGE)  Publication year： 2020 
JST Material Number： U0016A  ISSN： 1348-0391  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *molecular cluster ,  water molecule ,  cluster ion ,  ion beam deposition ,  *polymer thin film ,  electric field effect ,  memory capacity ,  sputtering ,  *sputtered deposition ,  mass spectrum ,  optimization ,  *electrospray ionization ,  filtering ,  analytical instrument ,  cluster segmentation ,  electron gun ,  ion beam ,  computer simulation ,  spin coating ,  polystyrene ,  size effect ,  optimum size ,  polymethyl methacrylate
Semi thesaurus term： analyzer ,  cluster ion beam deposition ,  cluster size ,  cluster separation ,  size dependence ,  size selectivity ,  polymethylmethacrylate film ,  *rotating electric field ,  optimal size ,  *water cluster ,  finite difference method ,  finite element analysis simulation

Author keywords (3)： REF-MS ,  ESI ,  Water cluster ion beam

JST classification (3)： Atomic and molecular clusters  (BH09030O) ,  Thin films of organic compounds  (BK14070L) ,  Interactions with ions  (BK16070Z)

Reference (19)：

• [1] M. Nojima, Y. Anai, M. Hotta, S. Kurumi, K. Suzuki, T. Adachi, T. Kusanagi, and K. Moritani, J. Vac. Sci. Technol. B 34, 03H132 (2016).
• [2] M. Nojima, T. Norikawa, and N. Kishimoto, Mass Spectrom. Purif. Tech. 4, 1000128 (2018).
• [3] M. Nojima, Glob. J. Nanomed. 2, 555596 (2017).
• [4] M. Nojima, Nanotechnol. Adv. Mater. Sci. 2, 1 (2019).
• [5] Y. Anai, M. Nojima, M. Hotta, S. Kurumi, K. Suzuki, T. Adachi, T. Kusanagi, and K. Moritani, e-J. Surf. Sci. Nanotechnol. 14, 161 (2016).

Terms in the title (5)： 回転電場 ,  高分子薄膜 ,  スパッタリング ,  水クラスタ ,  イオンビーム