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J-GLOBAL ID:202003000189702950

カーボンナノチューブ被膜部材とその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2015145106
Publication number (International publication number):2017024942
Patent number:6656620
Application date: Jul. 22, 2015
Publication date: Feb. 02, 2017
Claim (excerpt):
【請求項1】基材をアルミニウム化合物溶液に浸漬し、 前記基材を真空下で800°C以上に加熱し、 金属錯体蒸気を用いる浮遊触媒輸送式の化学気相成長により、カーボンナノチューブを前記基材の表面に製膜することを特徴とするカーボンナノチューブ被膜部材の製造方法。
IPC (4):
C01B 32/162 ( 201 7.01) ,  C23C 16/02 ( 200 6.01) ,  C23C 16/26 ( 200 6.01) ,  B82Y 30/00 ( 201 1.01)
FI (4):
C01B 32/162 ,  C23C 16/02 ,  C23C 16/26 ,  B82Y 30/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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