カーボンナノチューブ被膜部材とその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2015145106
Publication number (International publication number)：2017024942
Patent number：6656620
Application date： Jul. 22, 2015
Publication date： Feb. 02, 2017
Claim (excerpt)：

【請求項1】基材をアルミニウム化合物溶液に浸漬し、前記基材を真空下で800°C以上に加熱し、金属錯体蒸気を用いる浮遊触媒輸送式の化学気相成長により、カーボンナノチューブを前記基材の表面に製膜することを特徴とするカーボンナノチューブ被膜部材の製造方法。

IPC (4)：

C01B 32/162 ( 201 7.01) , C23C 16/02 ( 200 6.01) , C23C 16/26 ( 200 6.01) , B82Y 30/00 ( 201 1.01)

FI (4)：

C01B 32/162 , C23C 16/02 , C23C 16/26 , B82Y 30/00

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

光学部材とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2015-016862 Applicant：国立研究開発法人産業技術総合研究所, 株式会社マイクロフェーズ
カーボンナノチューブ用レセプタ-触媒成長工程
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2014-515910 Applicant：ユニバーシティ・オブ・デイトン
炭素基板または金属基板上でのカーボンナノチューブの成長
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2010-547228 Applicant：コミサリアアレネルジーアトミックエオゼネルジーアルテルナティブ

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Cited by examiner (5)

光学部材とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2015-016862 Applicant：国立研究開発法人産業技術総合研究所, 株式会社マイクロフェーズ
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炭素基板または金属基板上でのカーボンナノチューブの成長
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2010-547228 Applicant：コミサリアアレネルジーアトミックエオゼネルジーアルテルナティブ

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Article cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

A generic process of growing aligned carbon nanotube arrays on metals and metal alloys

Cited by examiner (1)

A generic process of growing aligned carbon nanotube arrays on metals and metal alloys

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