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J-GLOBAL ID:201103053142090376
炭素基板または金属基板上でのカーボンナノチューブの成長
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
特許業務法人原謙三国際特許事務所
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2010547228
Publication number (International publication number):2011512315
Application date: Feb. 17, 2009
Publication date: Apr. 21, 2011
Summary:
本発明は、基板上でのナノチューブの成長、特に、当該ナノチューブの成長が通常は困難である炭素基板または金属基板上でのカーボンナノチューブの成長に関する。したがって、本発明は、単一ステップ、ならびに単一および同一成長装置において、セラミックの副層を堆積する第一の段階と、上記副層上にカーボンナノチューブを堆積することを含む第二の段階とを有する。好適には化学成長気相法を用いて成長を実行させる。
Claim (excerpt):
基板上においてカーボンナノチューブを成長させる方法であって、
単一かつ同一の成長反応器における単一工程にて、
セラミックの副層を堆積させる第一の段階と、
該セラミックの副層上にカーボンナノチューブを堆積させる第二の段階と
が行われることを特徴とする方法。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (21):
4G146AA11
, 4G146AB07
, 4G146AD20
, 4G146AD22
, 4G146AD30
, 4G146BA12
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC28
, 4G146BC32A
, 4G146BC33A
, 4G146BC33B
, 4G146BC34A
, 4G146BC42
, 4G146BC44
, 4G146BC48
, 4G146DA03
, 4G146DA22
, 4G146DA26
, 4G146DA30
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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支持体に結合させたカーボンナノチューブ及びそれを含む複合体の製造方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2006-550248
Applicant:サーントルナシオナルドゥラルシェルシェシャーンティフィク(セーエンヌエールエス)
-
熱分解によりカーボンナノチューブまたは窒素ドープされたカーボンナノチューブを蒸着するための方法および装置
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2004-514985
Applicant:コミツサリアタレネルジーアトミーク
-
カーボンナノチューブ電極及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-055761
Applicant:三洋電機株式会社, 国立大学法人大阪大学
-
摺動部材及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2007-298355
Applicant:株式会社豊田中央研究所
-
特開平3-260119
-
成膜方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-334404
Applicant:株式会社アルバック, 独立行政法人産業技術総合研究所
-
三次元強化多機能性ナノ複合体
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2008-543368
Applicant:ユニバーシティオブハワイ, レンセラーポリテクニックインスティチュート
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