MEMSガスセンサとガス検出装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：塩入明 , 塩入みか
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2016164287
Publication number (International publication number)：2018031685
Patent number：6749603
Application date： Aug. 25, 2016
Publication date： Mar. 01, 2018
Claim (excerpt)：

【請求項1】 Si基板の空洞上の絶縁膜に、ヒータと、電極と、金属酸化物半導体を含有するガス感応膜が設けられているMEMSガスセンサにおいて、前記ガス感応膜が、前記金属酸化物半導体と、前記金属酸化物半導体によるガスの検出温度で酸素を放出し、検出温度よりも低い温度で酸素を吸収する酸素収脱着材料を含有し、かつ前記酸素収脱着材料の粒子径は前記金属酸化物半導体の粒子径よりも大きく、さらに前記酸素収脱着材料の粒子表面に前記金属酸化物半導体粒子が付着していることを特徴とする、MEMSガスセンサ。

IPC (1)：

G01N 27/12 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01N 27/12 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開昭58-030648
ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-232953 Applicant：フィガロ技研株式会社
薄膜ガスセンサおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-239902 Applicant：富士電機機器制御株式会社

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