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J-GLOBAL ID：202103006194166230

粒子線装置、観察法、および回折格子

Inventor： 原田 研 ,  嶌田 惠子 ,  新津 甲大
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人理化学研究所
Agent (1)： ポレール特許業務法人
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2018513106
Patent number：6931931
Application date： Apr. 06, 2017
Claim (excerpt)：

【請求項1】粒子線装置であって、 荷電粒子線を発生する粒子線源と、 前記荷電粒子線を試料に照射する照射部と、 前記試料を保持する試料保持部と、 前記試料を透過した前記荷電粒子線を検出するための検出部と、 前記照射部における前記荷電粒子線の進行方向下流側で、前記試料の前記荷電粒子線の進行方向上流側に備えられ、前記荷電粒子線に対して透過性を有する材料で構成され、開口領域と前記開口領域の外側周辺部とからなる回折格子と、 前記回折格子の前記粒子線装置の光軸上への着脱と移動を可能とする保持装置と、 前記試料を透過した前記荷電粒子線を結像する少なくとも一つのレンズからなる対物レンズ系と、 前記対物レンズ系の前記荷電粒子線の進行方向下流側に配置された複数のレンズからなる結像光学系と、を備え、 前記検出部は、前記結像光学系による前記試料の像を取得し、 前記回折格子の前記開口領域は、前記荷電粒子線の前記回折格子への照射領域よりも小さい、 ことを特徴とする粒子線装置。

IPC (3)：

H01J 37/295 ( 200 6.01) ,  G01N 23/04 ( 201 8.01) ,  G02B 5/18 ( 200 6.01)

FI (3)：

H01J 37/295 ,  G01N 23/04 ,  G02B 5/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 紫外・可視・近赤外吸収スペクトル測定用試料ホルダー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-295355   Applicant：財団法人ファインセラミックスセンター
• 透過型電子顕微鏡およびそれを用いた試料像の観察方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2009-184998   Applicant：株式会社日立製作所
• 透過型電子顕微鏡
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2010-515585   Applicant：メディカルリサーチカウンシル