紫外・可視・近赤外吸収スペクトル測定用試料ホルダー

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：特許業務法人岡田国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007295355
Publication number (International publication number)：2009123477
Application date： Nov. 14, 2007
Publication date： Jun. 04, 2009
Summary：

【課題】既存の電子顕微鏡を用いて、試料の高分解能観察と同時に、紫外・可視・近赤外吸収スペクトル測定をも容易かつ確実に行うことのできる試料ホルダーを提供する。【解決手段】TEM1内において電子線Eを照射することにより試料Sの構造観察を行う試料ホルダー10であって、試料ホルダー10の軸方向Xに沿って配され、電子顕微鏡外の光源60から紫外・可視・近赤外領域の光を伝送する入射側光ファイバー38と、入射側光ファイバー38により伝送された入射光L1を集光する入射側集光レンズ42と、試料Sを介して入射側集光レンズ42の対向側に配され、試料Sを透過した光L2を集光する透過側集光レンズ43と、試料ホルダー10の軸方向に沿って配され、透過側集光レンズ43により集光した透過光L2を電子顕微鏡外へ伝送する透過側光ファイバー39とを備える。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

電子顕微鏡内において電子線を照射することにより試料の構造観察を行う試料ホルダーであって、前記試料ホルダーの軸方向に沿って配され、電子顕微鏡外の光源から紫外・可視・近赤外領域の光を前記電子顕微鏡の鏡筒内に伝送する入射側光ファイバーと、前記入射側光ファイバーにより伝送された入射光を、前記試料ホルダーに設置された試料に集光する入射側集光レンズと、前記試料を介して前記入射側集光レンズの対向側に配され、前記試料を透過した光を集光する透過側集光レンズと、前記試料ホルダーの軸方向に沿って配され、前記透過側集光レンズにより集光した透過光を、前記試料を介して前記入射側光ファイバーの対向側から前記電子顕微鏡の鏡筒外へ伝送する透過側光ファイバーとを備え、電子線による構造観察と同時に、紫外・可視・近赤外領域の光による試料の励起と吸収スペクトルの測定をすることを特徴とする試料ホルダー。

IPC (2)：

H01J 37/20 , H01J 37/26

FI (2)：

H01J37/20 A , H01J37/26

F-Term (6)：

5C001AA01 , 5C001AA08 , 5C001BB07 , 5C001CC03 , 5C033SS02 , 5C033SS10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

カソードルミネッセンス用試料ホルダ、及びカソードルミネッセンス分光分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-334389 Applicant：株式会社ユニソク
電子顕微鏡用加熱装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-164128 Applicant：財団法人ファインセラミックスセンター, ニチデン機械株式会社

Cited by examiner (4)

電子顕微鏡用加熱装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-164128 Applicant：財団法人ファインセラミックスセンター, ニチデン機械株式会社
荷電粒子線装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-336461 Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ
カソードルミネッセンス用試料ホルダ、及びカソードルミネッセンス分光分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-334389 Applicant：株式会社ユニソク

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