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J-GLOBAL ID：202103016254271319

水晶振動子を用いたワイドレンジ荷重センサ

Inventor： 新井 史人 ,  室▲崎▼ 裕一 ,  佐久間 臣耶
Applicant, Patent owner： 国立大学法人東海国立大学機構
Agent (2)： 池田 治幸 ,  池田 光治郎
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2018522461
Patent number：6941874
Application date： Jun. 02, 2017
Claim (excerpt)：

【請求項1】 薄板形状の水晶振動子の該薄板形状と平行な方向に印加される外部荷重の大きさを検出する荷重センサであって、 該荷重センサは、 薄板形状の水晶振動子と、該水晶振動子の板厚方向に相対する一対の面に一対の電極部とを備えた水晶振動子層と、 前記水晶振動子層の前記薄板形状の両側を厚さ方向に挟むように設けられ、該水晶振動子層に前記外部荷重が印加された際に該水晶振動子層と略同量の変位を生ずる一対の保持層と、を含み、 前記保持層は、水晶振動子層と略等しい大きさを有することにより、前記水晶振動子層の前記薄板形状の面方向全体を覆うものであり、 前記保持層および水晶振動子層は、略同等の熱膨張率を有する材料により構成されていることを特徴とする荷重センサ。

IPC (2)：

G01L 1/10 ( 200 6.01) ,  G01L 1/16 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01L 1/10 A ,  G01L 1/16 B

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 水晶振動子を用いた荷重センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-390393   Applicant：日本電波工業株式会社, 大和製衡株式会社
• 光学セル及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2014-176699   Applicant：京セラクリスタルデバイス株式会社
• 直接接合用ウェハ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-287004   Applicant：エプソントヨコム株式会社
• 水晶振動子を用いた荷重センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2013-241319   Applicant：国立大学法人名古屋大学

Cited by examiner (4)

• 水晶振動子を用いた荷重センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-390393   Applicant：日本電波工業株式会社, 大和製衡株式会社
• 光学セル及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2014-176699   Applicant：京セラクリスタルデバイス株式会社
• 直接接合用ウェハ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-287004   Applicant：エプソントヨコム株式会社
• 水晶振動子を用いた荷重センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2013-241319   Applicant：国立大学法人名古屋大学