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J-GLOBAL ID：202104012229396296  Research Project code：7700112699

半導体クラスターイオン注入装置

半導体クラスターイオン注入装置
National award number：JPMJTT9805
Study period：1998 -
Organization (2)：
姫路工業大学

About 姫路工業大学

, 
住友イートンノバ株式会社

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Principal investigator：
山田 公

About 山田 公

(
姫路工業大学

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)
Corporate responsibility：
住友イートンノバ株式会社

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DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTT9805
Terms in the title (2)：
Terms in the title
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クラスターイオン

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, 
注入装置

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
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