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J-GLOBAL ID：202203010398161118

分光偏光特性測定装置及び分光偏光特性測定方法

Inventor： 安井 武史 ,  南川 丈夫 ,  是澤 秀紀
Applicant, Patent owner： 国立大学法人徳島大学
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2021027937
Publication number (International publication number)：2022129276
Application date： Feb. 24, 2021
Publication date： Sep. 05, 2022
Summary：

【課題】測定対象の偏光状態及びその波長分散を、偏光変調を必要とせず、高速かつ高精度に取得可能な分光偏光特性測定装置を提供する。 【解決手段】第一離散スペクトル光源12からの離散スペクトル光を分割する分割部14と、分割された離散スペクトル光の偏光をそれぞれ異なる状態に制御する偏光制御部15,16、及び時間遅延をそれぞれ異なる状態に制御する時間遅延制御部17,18と、複数の離散スペクトル光を重ね合わせる第一重ね合わせ部19と、偏光状態と時間遅延が異なる複数の離散スペクトル光からなる偏光制御離散スペクトル光列を試料100に照射する照射部と、第二離散スペクトル光源13からの離散スペクトル光を試料の情報を含む偏光制御離散スペクトル光列と重ね合わせ干渉信号を生成する第二重ね合わせ部21と、試料の情報を含む干渉信号の直交偏光成分の光振幅と位相に関するモード分解スペクトルを取得する検出部40とを備える。 【選択図】図1

Claim (excerpt)：

互いに異なる周波数で分布しているスペクトルを二以上含む離散スペクトル光を発する第一離散スペクトル光源(第一の光コム光源)と、前記第一離散スペクトル光源から発せられた離散スペクトル光(パルス光)を空間的に分割する分割部と、前記分割部によって分割された前記離散スペクトル光の偏光状態を独立に制御しそれぞれ異なる偏光状態を持つ複数の偏光制御部と、 前記偏光制御部によって偏光制御された前記離散スペクトル光の時間遅延を独立に制御しそれぞれ異なる時間遅延を持つ複数の時間遅延制御部と、前記時間遅延制御部によって時間遅延が制御された複数の前記離散スペクトル光を空間的に重ね合わせる第一重ね合わせ部と、前記重ね合わせ部によって重ね合わされた偏光状態と時間遅延が異なる複数の前記離散スペクトル光からなる偏光制御離散スペクトル光列を試料に照射する照射部と、互いに異なる周波数で分布しているスペクトルを二以上含む離散スペクトル光を発する第二離散スペクトル光源(第二の光コム光源)と、前記第二離散スペクトル光源から発せられた離散スペクトル光(パルス光)を前記照射部によって前記試料の情報を含む偏光制御離散スペクトル光列と空間的に重ね合わし干渉信号(インターフェログラム列)を生成する第二重ね合わせ部と、前記試料の情報を含む個々の干渉信号(インターフェログラム列)の直交偏光成分の光振幅と位相に関するモード分解スペクトルを取得する検出部と、を備えていることを特徴とする分光偏光特性測定装置。

IPC (1)：

G01J 4/04

FI (1)：

G01J4/04 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 楕円偏光入射による複屈折板の測定法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-109921   Applicant：学校法人近畿大学
• 計測装置及び計測方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-258145   Applicant：国立大学法人東京農工大学
• 光学特性計測装置、光学特性計測方法、および光学特性計測装置の校正方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2008-325444   Applicant：国立大学法人東京農工大学
• 米国特許第6,744,509号明細書