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J-GLOBAL ID：201003062488619286
光学特性計測装置、光学特性計測方法、および光学特性計測装置の校正方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
大渕 美千栄
, 布施 行夫
, 都築 美奈
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008325444
Publication number (International publication number)：2010145332
Application date： Dec. 22, 2008
Publication date： Jul. 01, 2010
Summary：
【課題】機械駆動を必要とせず測定対象の光学特性を高精度に計測することが可能な光学特性計測装置、光学特性計測方法および光学特性計測装置の校正方法を提供すること。【解決手段】光源12と、第1及び第2の偏光変調器20、40と、測定光の光強度情報を取得する光強度情報取得部50と、測定光の光強度をフーリエ解析し、当該フーリエ係数に基づき試料30のミュラー行列の要素を算出する演算処理部70とを含み、第1の偏光変調器20は、第1の偏光子21、第1及び第2の液晶素子22、24を含み、第2の偏光変調器40は、第2の偏光子46、第3及び第4の液晶素子42、44を含み、光源12から出射された光を、第1の偏光子21、第1及び第2の液晶素子22、24を介して試料30に入射させ、試料30によって変調された光を、第3及び第4の液晶素子42、44及び第2の偏光子46を介して受光部52に入射させるように構成される。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
測定対象の光学特性を計測する光学特性計測装置であって、
所定の波長の光を出射する光源と、
第1及び第2の偏光変調器と、
前記第1及び第2の偏光変調器と前記測定対象で前記光を変調させることによって得られる測定光を受光する受光部と、を含む光学系と、
前記測定光の光強度情報を取得する光強度情報取得部と、
前記測定光の光強度をフーリエ解析し、当該フーリエ係数に基づき前記測定対象の光学特性を表す行列の行列要素の少なくとも1つを算出する演算処理を行う演算処理部とを含み、
前記第1の偏光変調器は、第1の偏光子、第1及び第2の液晶素子を含み、
前記第2の偏光変調器は、第2の偏光子、第3及び第4の液晶素子を含み、
前記光源から出射された光を、前記第1の偏光子、前記第1の液晶素子及び前記第2の液晶素子を介して前記測定対象に入射させ、前記測定対象によって変調された前記光を、前記第3の液晶素子、前記第4の液晶素子及び前記第2の偏光子を介して前記受光部に入射させるように構成された光学特性計測装置。
IPC (1)：
FI (1)：
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (3)
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