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J-GLOBAL ID：202203010848870238

プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法

Inventor： 呉 準席 ,  伊藤 昌文 ,  早川 壮則 ,  矢島 英樹
Applicant, Patent owner： 公立大学法人大阪 ,  株式会社オーク製作所
Agent (9)： 青木 宏義 ,  天田 昌行 ,  岡田 喜雅 ,  三浦 邦陽 ,  青木 宏義 ,  天田 昌行 ,  岡田 喜雅 ,  三浦 邦陽 ,  三浦 邦夫
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2018002288
Publication number (International publication number)：2019121564
Patent number：7014612
Application date： Jan. 11, 2018
Publication date： Jul. 22, 2019
Claim (excerpt)：

【請求項1】 放電容器を介在させて配設された一対の電極を有するプラズマ発生装置において、 上記一対の電極のうち、一方の電極の放電用ガスの流れ方向下流側端部が、他方の電極の放電用ガスの流れ方向下流側端部より、放電用ガスの流れ方向に沿って下流側に配置されており、上記一対の電極の一方の電極は、上記放電容器内の柱状の誘電体に埋設された内側電極であり、他方の電極は、上記放電容器の外表面に配置された外側電極であって、上記外側電極は上記内側電極より上記放電用ガスの流れ方向に沿って下流側に配置されており、上記放電容器は、外表面に上記外側電極が配置された縮径部を有し、上記縮径部の内径は、上記放電容器の内径及び上記誘電体の外径より小さい、 ことを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (1)：

H05H 1/26 ( 200 6.01)

FI (1)：

H05H 1/26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 携帯型大気圧プラズマ発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-022313   Applicant：国立大学法人茨城大学, スターエンジニアリング株式会社
• 大気圧低温プラズマ装置と表面処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-136549   Applicant：国立大学法人群馬大学
• プラズマ反応器及びプラズマ電極板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2015-240209   Applicant：日本特殊陶業株式会社