携帯型大気圧プラズマ発生装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：木幡行雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006022313
Publication number (International publication number)：2007207475
Application date： Jan. 31, 2006
Publication date： Aug. 16, 2007
Summary：

【課題】ガス流量を抑えて大気圧プラズマを安定に維持し、その発光分析により所望のガス励起状態を得る携帯型大気圧プラズマ発生装置の提供。【解決手段】外部絶縁管8に軸方向移動可能に配した接地電極4及びその先端に固設した補助電極4aと、外部絶縁管8の軸心に配した内部絶縁管9と、その内部に配した電力電極3と、外部絶縁管8の後端に配したガス導入用のラバルノズル1と、外部絶縁管8先端のプラズマガス吹出口とで構成し、ガス供給部A-4から供給されたプラズマ生成ガスをラバルノズル1から外部絶縁管8内に導入し、接地電極4及び補助電極4aと電力電極3との間に、プログラマブル高周波電源部A-1により放電用の高周波電力を供給し、かつ電力電極3と被処理物7との間に、パルスバイアス電源A-2により、パルスバイアス電圧を印加してプラズマを発生させるように構成した。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

外部絶縁管の外周部にその軸方向に移動可能に配した接地電極と、前記外部絶縁管の外周部先端に配した、前記接地電極と同電位の補助電極と、前記外部絶縁管の軸心に沿って配した内部絶縁管と、前記内部絶縁管内に配した電力電極であって、後記高速ノズルから導入したガスが電離して生成したプラズマガスに、その一部又は全部を接触させるように構成した電力電極と、前記外部絶縁管の後端に配したガス導入用の高速ノズルと、前記外部絶縁管の先端に開口したプラズマガスの吹出口とで構成し、前記高速ノズルから前記外部絶縁管内にプラズマ生成用のガスを導入すべく、ガス供給部から該高速ノズルにプラズマ生成用のガスを供給し、かつ前記接地電極及び前記補助電極と前記電力電極との間に、プログラマブル高周波電源により放電用の高周波電力を供給するように構成した携帯型大気圧プラズマ発生装置。

IPC (1)：

H05H 1/30

FI (1)：

H05H1/30

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

特許第2589599号公報
特許第3207469号公報
プラズマ処理装置及びプラズマ点灯方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-193415 Applicant：松下電工株式会社

Cited by examiner (21)

プラズマ処理装置及びプラズマ点灯方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-193415 Applicant：松下電工株式会社
放電の始動方法、この始動方法を利用した被処理物の処理方法、及びこの始動方法を利用した被処理物の処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-381480 Applicant：ユースエンジニアリング株式会社
プラズマ発生方法及びプラズマ発生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-351189 Applicant：松下電器産業株式会社

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