Pat

J-GLOBAL ID：202203016652470477

計測装置、計測システム、移動体、および計測方法

Inventor： 錦野 将元 ,  長谷川 登 ,  三上 勝大 ,  北村 俊幸 ,  近藤 修司 ,  岡田 大 ,  河内 哲哉 ,  島田 義則 ,  倉橋 慎理
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 ,  公益財団法人レーザー技術総合研究所
Agent (3)： 棚井 澄雄 ,  飯田 雅人 ,  西澤 和純
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：9013302
Patent number：7129067
Application date： Mar. 27, 2019
Claim (excerpt)：

【請求項1】 検査対象にレーザー光を照射した場合に生じる振動に基づいて、前記検査対象を計測する計測装置であって、 前記レーザー光を照射するレーザー装置と、前記レーザー光の照射箇所との間の距離に基づいて、前記レーザー光を集光するレーザー集光ユニットの集光位置の調整量を導出する集光位置導出部と、 前記調整量を示す情報を含む制御情報を、前記レーザー集光ユニットへ送信する通信部と、前記検査対象に前記レーザー光を照射した場合に生じる残響音の時系列データを取得する残響音データ取得部と、前記残響音データ取得部が取得した前記残響音の時系列データの残響音の強度に基づいて、前記検査対象に前記レーザー光を照射するタイミングを取得する残響音解析部と を備え、前記通信部は、前記残響音解析部が取得した前記タイミングを示す情報を含む制御情報を、前記レーザー光を照射する前記レーザー装置へ送信し、 前記残響音は、前記検査対象に前記レーザー光が照射されることによって生じた音の反響音である、計測装置。

IPC (1)：

G01N 29/24 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01N 29/24