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J-GLOBAL ID:202303000605422832

検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (7): 弁理士法人鈴榮特許綜合事務所 ,  蔵田 昌俊 ,  野河 信久 ,  井上 正 ,  峰 隆司 ,  河野 直樹 ,  金子 早苗
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2019226403
Publication number (International publication number):2021096110
Patent number:7369381
Application date: Dec. 16, 2019
Publication date: Jun. 24, 2021
Claim (excerpt):
【請求項1】 サンプルが添付されている構造体を備える基板を支持するステージと、 前記基板の温度を制御する温度制御器と、 前記構造体に電磁波を照射する発生器と、 前記構造体からの反射波又は透過波を受信する受信器と、 前記基板の温度を測定する温度センサと、 前記温度センサが測定した前記基板の温度と目標温度との差に基づいて前記温度制御器に出力する電流量を制御することで、前記温度制御器に前記基板を加熱若しくは冷却させ、前記基板の温度を前記目標温度に制御し、 前記基板の温度が前記目標温度である間において、前記受信器が受信した反射波又は透過波の強度に基づいて被検出物を検出する、 プロセッサと、を備える検出装置。
IPC (2):
G01N 21/17 ( 200 6.01) ,  G01N 21/47 ( 200 6.01)
FI (2):
G01N 21/17 Z ,  G01N 21/47 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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