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Pat
J-GLOBAL ID:200903049761828783

多層屈折率測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 谷 義一 ,  阿部 和夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005232603
Publication number (International publication number):2007047051
Application date: Aug. 10, 2005
Publication date: Feb. 22, 2007
Summary:
【課題】 高精度に温度制御が可能であり、かつ高精度に屈折率変化を測定可能な多層屈折率測定装置を提供すること。【解決手段】 リング共振器1-10と、該リング共振器1-10と近傍部分をもち、導波路1-9および1-11を有する第一層目の温度測定用光回路1-3と、リング共振器1-7と、該リング共振器1-7と近傍部分をもち、導波路1-6および1-8とを有し、第一層目の温度測定用光回路1-3上に積層された第二層目の屈折率測定用光回路1-2とを備える。リング共振器1-7が有する導波路の一部の導波路上のクラッドは、使用される光の波長と同程度またはそれより小さい厚さを有するか、あるいは、上記一部の導波路のコアが露出している。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
少なくとも1個の第1のリング共振器と、該リング共振器と近傍部分をもち、光の入射および出射を行う少なくとも1本の第1の導波路とを有する第1の平面型光回路と、 少なくとも1個の第2のリング共振器と、該リング共振器と近傍部分をもち、光の入射および出射を行う少なくとも1本の第2の導波路とを有し、前記第1の平面型光回路に積層された第2の平面型光回路であって、前記第2のリング共振器が有する導波路の一部の導波路上のクラッドは、入射される光の波長と同程度またはそれより小さい厚さを有するか、あるいは、前記一部の導波路のコアが露出している第2の平面型光回路と を備えることを特徴とする多層屈折率測定装置。
IPC (2):
G01N 21/41 ,  G01N 21/27
FI (2):
G01N21/41 Z ,  G01N21/27 C
F-Term (19):
2G059AA01 ,  2G059AA02 ,  2G059BB04 ,  2G059BB11 ,  2G059BB12 ,  2G059CC12 ,  2G059CC16 ,  2G059DD16 ,  2G059DD20 ,  2G059EE04 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG09 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059NN02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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