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J-GLOBAL ID：202303018412099771

面発光レーザ素子

Inventor： 野田 進 ,  井上 卓也 ,  小泉 朋朗 ,  江本 渓
Applicant, Patent owner： 国立大学法人京都大学 ,  スタンレー電気株式会社
Agent (1)： デロイトトーマツ弁理士法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2022095656
Publication number (International publication number)：2023182186
Application date： Jun. 14, 2022
Publication date： Dec. 26, 2023
Summary：

【課題】出射損失を低減することができ、発振閾値電流が低減され、駆動電流が低減された面発光レーザ素子を提供する。 【解決手段】透光性の基板上に設けられた第1の半導体層と、第1の半導体層上の活性層と、活性層上の第2の半導体層と、第1の半導体層に含まれ、活性層に平行な面内において2次元的な周期性を有して配された空孔を備えるフォトニック結晶層と、第2の半導体層上に設けられ、反射面を有する光反射層と、を有する。基板の裏面に光出射面を有し、フォトニック結晶層は定在する光をフォトニック結晶層と直交する方向へ回折する際の波源である回折面を有し、回折面から光出射面側に回折された第1の回折光と、回折面から光反射層側に回折され反射面で反射された第2の回折光との干渉により生成された干渉光の光強度が、第1の回折光の光強度より小さくなるように回折面と反射面との離間距離が設けられている。 【選択図】図1A

Claim (excerpt)：

透光性の基板と、 前記基板上に設けられた第1の半導体層と、 前記第1の半導体層上に設けられた活性層と、 前記活性層上に設けられた第2の半導体層と、 前記第1の半導体層に含まれ、前記活性層に平行な面内において2次元的な周期性を有して配された空孔を備えるフォトニック結晶層と、 前記第2の半導体層上に設けられ、反射面を有する光反射層と、を備え、 前記基板の裏面に光出射面を有し、 前記フォトニック結晶層は、前記フォトニック結晶層内に定在する光を前記フォトニック結晶層と直交する方向へ回折する際の波源である回折面を有し、 前記回折面から前記光出射面側に回折された第1の回折光と、前記回折面から前記光反射層側に回折され前記反射面で反射された第2の回折光との干渉により生成された干渉光の光強度が、前記第1の回折光の光強度より小さくなるように前記回折面と前記反射面との離間距離が設けられた、面発光レーザ素子。

IPC (2)：

H01S 5/11 ,  H01S 5/185

FI (2)：

H01S5/11 ,  H01S5/185

F-Term (6)：

5F173AB52 ,  5F173AB90 ,  5F173AH22 ,  5F173AP05 ,  5F173AP33 ,  5F173AR94

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 窒化物半導体レーザ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-062277   Applicant：住友電気工業株式会社
• 窒化物半導体レーザ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2009-079399   Applicant：キヤノン株式会社
• フォトニック結晶レーザ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2012-213645   Applicant：キヤノン株式会社