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J-GLOBAL ID：202403001705512948
走査型イオンコンダクタンス顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
大谷 嘉一
, 西野 千明
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2020137427
Publication number (International publication number)：2022033497
Patent number：7492252
Application date： Aug. 17, 2020
Publication date： Mar. 02, 2022
Claim (excerpt)：
【請求項1】 除振台の上面にXYステージを介して設けた試料を保持する試料ステージと、前記試料に対して計測用のプローブを位置制御するプローブ保持手段と、前記プローブを介して得られた信号を計測する微小電流計測器と、前記除振台の上面から立設した支持部に設けたZ軸方向のステッピングモータを備え、前記微小電流計測器は計測器保持部に取り付けてあり、前記プローブ保持手段はZ軸アクチュエータに取り付けられ、前記計測器保持部とZ軸アクチュエータが連結具にて一体的に連結され、前記連結具が前記ステッピングモータに取り付け取り外し可能になっていることを特徴とする走査型イオンコンダクタンス顕微鏡。
IPC (1)：
FI (1)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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走査型イオンコンダクタンス顕微鏡法
Gazette classification：公表公報
Application number：特願2016-556984
Applicant：オープンアイオーラブズリミテッド
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特開昭62-135838
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電気泳動用高圧電源装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2000-371162
Applicant：株式会社島津製作所
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