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J-GLOBAL ID：201903006004344031
表面計測方法、イオン伝導顕微鏡およびプローブ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
新居 広守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2017172666
Publication number (International publication number)：2019049420
Application date： Sep. 08, 2017
Publication date： Mar. 28, 2019
Summary：
【課題】生理液中環境に置かれた生きた生物試料等にダメージを与えることなく、かつ、高速動作と高い空間分解能とを実現する表面計測方法等を提供する。【解決手段】表面計測方法は、第1の電解液中に試料を配置する試料準備工程と、プローブの貫通孔内に、第1の電解液よりもイオン濃度が高い第2の電解液を充填する充填工程と、第1の電解液に少なくとも一部が浸された第1の電極と第2の電解液に少なくとも一部が浸された第2の電極との間に第1の電解液と第2の電解液とを介して流れるイオン電流を計測する電流計測工程と、計測されたイオン電流に基づいてプローブの高さを調整する高さ調整工程と、貫通孔内に第2の電解液が充填されたプローブをプローブの高さ方向と直交する方向に走査し試料の表面状態を計測する走査工程と、を含む。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
イオン電流を利用して、長尺のプローブを走査しながら試料の表面形状および状態を計測する表面計測方法であって、
前記プローブは、前記プローブの長尺方向と同一の方向に長尺な形状を有しかつ前記長尺方向の両端を貫通する貫通孔を有し、
第1の電解液中に前記試料を配置する試料準備工程と、
前記貫通孔内に、前記第1の電解液よりもイオン濃度が高い第2の電解液を充填する充填工程と、
前記第1の電解液に少なくとも一部が浸された第1の電極と、前記第2の電解液に少なくとも一部が浸された第2の電極との間に、前記第1の電解液と前記第2の電解液とを介して流れるイオン電流を計測する電流計測工程と、
計測された前記イオン電流に基づいて、前記プローブの高さを調整する高さ調整工程と、
前記貫通孔内に前記第2の電解液が充填された前記プローブを、前記プローブの高さ方向と直交する方向に走査し、前記試料の表面形状および状態を計測する走査工程と、
を含む
表面計測方法。
IPC (1)：
FI (1)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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