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J-GLOBAL ID:201702215926778849   整理番号:17A0462707

力,光および温度感受性ミクロ電気機械システムセンサを用いる暖/冷知覚を含む組織キャラクタリゼーション

Texture Characterization Including Warm/Cool Sensation Using Force-, Light-, and Temperature-Sensitive Micro-electromechamical Systems Sensor
著者 (6件):
資料名:
巻: 29  号:ページ: 311-321  発行年: 2017年 
JST資料番号: L0338A  ISSN: 0914-4935  CODEN: SENMER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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この文献において,マルチモードミクロ電気機械システム(MEMS)センサを用いて,触覚,暖/冷および光知覚を含む対象物のための組織測定を報告する。このMEMSセンサは微小片持ち梁上の歪ゲージの抵抗変化として力を,そして光伝導効果によるSi層のインピーダンス変化として光を検出する。ヒータを用いて人の体温近くに維持されるセンサはまた歪ゲージの抵抗変化としてまたはSi層のインピーダンス変化として接触対象物へのセンサからの伝熱後の温度低下を測定できる。この研究において,3つの異なる材料(銅,アクリルおよび木材)を,表面組織の測定のための目標対象物として選択し,センサ表面における活性センシング実験(プローブ光を有するセンサのアプローチとプレス)におけるセンサ出力の差異に基づいてキャラクタリゼーションした。近接プロセスにおいて,Si層のインピーダンス変化は対象物の表面反射率に依存する。対象物がセンサ表面によって接触される後に,伝熱によって引き起こされる温度変化とともにSi層のインピーダンスとセンサの歪ゲージの抵抗は増加する。さらにそれぞれの対象物からのプロセス力によって引き起こされる片持ち梁の変形と共に歪ゲージの抵抗は低下する。そのために,種々の材料の機械的,光学的および熱的特性を含む表面組織が提案したMEMSマルチモードセンサを用いる活性センシングによって評価されることが示される。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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計測機器一般 

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