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J-GLOBAL ID：200902191559548113   整理番号：02A0855710

ポリメタクリル酸メチル骨格を持つ化学増幅型レジストの電子線リソグラフィへの適用の可能性に関する研究

著者 (4件)： 中野温朗 (大阪大 産科研) ,  岡本一将 (大阪大 産科研) ,  古沢孝弘 (大阪大 産科研) ,  田川精一 (大阪大 産科研)
資料名： 放射線化学討論会講演要旨集  (Program and Abstract. Annual Meetings of the Japanese Society of Radiation Chemistry)
巻： 45th  ページ： 159-160  発行年： 2002年10月09日 
JST資料番号： L0690A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 電子ビームリソグラフィー ,...

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分類 (1件)： 放射線高分子化学  (CG03050S)

物質索引 (2件)： ピレン ,  クリスタルバイオレット

タイトルに関連する用語 (6件)： ポリメタクリル酸メチル ,  骨格 ,  化学増幅型レジスト ,  電子線リソグラフィ ,  可能性 ,  研究