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J-GLOBAL ID：200902244027869910   整理番号：09A1032837

アダマンチル基を有するNoria誘導体の合成とEB及びEUVレジストへの展開

著者 (8件)： 陶山裕司 (神奈川大 工) ,  工藤宏人 (神奈川大 工) ,  西久保忠臣 (神奈川大 工) ,  岡本一将 (大阪大 産研) ,  古澤孝弘 (大阪大 産研) ,  田川精一 (大阪大 産研) ,  老泉博昭 (Selete) ,  井谷俊朗 (Selete)
資料名： 高分子学会予稿集(CD-ROM)  (高分子学会討論会予稿集(CD-ROM))
巻： 58  号： 2 Disk1  ページ： ROMBUNNO.1L1-05  発行年： 2009年09月01日 
JST資料番号： Z0703C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *電子ビームリソグラフィー ,  *フォトリソグラフィー ,  *極端紫外線 ,  電子線レジスト ,  化学増幅レジスト ,  *レジスト ,  大環状化合物
準シソーラス用語： ポジ型レジスト

分類 (2件)： その他の高分子の反応  (CG03040H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： Noria ,  誘導体 ,  EB ,  EUVレジスト ,  展開