特許
J-GLOBAL ID：200903001557035976
真空装置を窒素置換後に大気圧に開放する器具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
社本 一夫
, 増井 忠弐
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 桜井 周矩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-330156
公開番号（公開出願番号）：特開2004-160376
出願日： 2002年11月14日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：
【課題】従来の真空装置を大気圧に開放する方法においては、シリンダ内に充填される高圧窒素ガスが用いられている。しかし、この方法では、(1)この高圧窒素ガスにシリンダ内部の汚れ(特に、わずかな塵、油等)が含まれており、この汚れで大気解放後の装置が汚染され、(2)これを解決するためにガスを装置に導入するポートにこの汚れを除くためにフィルタ等を取り付ける必要があり、(3)高圧窒素ガス用のシリンダの取扱いには、その安全確保に留意する必要がある等の問題点が存在した。【解決手段】シリンダ内に充填された高圧窒素ガスを使用する代わりに、液体窒素をソースとして使用し、その液体窒素から蒸発する高純度の窒素ガスを直接真空装置に導入して真空装置を大気圧に開放する装置であり、本発明においては、真空装置を高純度な窒素ガスで無水、無油、無塵状態下で大気圧に開放することができるので、真空装置の改造、保守の時間を著しく短縮できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
真空装置を大気圧に開放する器具において、
その器具が、液体窒素を収容する容器、その容器出口に設けられた逆流防止弁、その逆流防止弁と真空装置との間を結合するチューブ、チューブに設けられたガス圧自動調節弁、及び圧力調節弁と真空装置間に設けられた加圧防止気球から構成され、
容器にガス逆流防止弁を介してチューブの一端を取り付け、液体窒素から蒸発する窒素ガスでチューブ内の空気を純窒素置換し、
内部に空気を含まない状態の加圧防止気球をチューブに取り付け、
チューブの他端を閉じた装置開放弁を介して真空装置に取付け、
設定圧力以上で自動に開放されるガス圧力調節自動弁を通して蒸発する窒素ガスにより加圧防止気球を膨らませ、チューブ内の空気を完全に窒素ガスで置換し、 その後、装置開放弁を開け、チューブとその気球内部の窒素ガスを真空装置に導入し、
気球は一旦しぼむが、この状態を続けると気球が再度ふくらみ始めたところで操作を中止することにより、無水、無油、無塵条件下で真空装置を純窒素置換後に大気開放することを特徴とする前記器具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
4K030DA06
, 4K030EA12
, 4K030KA11
