特許
J-GLOBAL ID：200903030305237975
散乱光を用いた光学部品検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-370437
公開番号（公開出願番号）：特開平11-194069
出願日： 1997年12月30日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：
【要約】【課題】 光学部品から生じる散乱光が表面粗さによるものであるか内部の不均一によるものであるかを評価する。【解決手段】 レーザ光源1により被検査対象2を照明し散乱光を誘起させ、散乱光強度の角度分布を受光装置3で検出し、表面粗さによる散乱の場合に特徴的に大きな値をとる量をコンピュータ4で計算し、散乱の原因を判別する。
請求項（抜粋）：
被検査対象を照射するための照明光を発生する照明光源と、前記照明光により誘起される散乱光の強度分布を測定する受光部と、数1を満たす散乱光を表す波数ベクトルの組ks1、ks2を1組以上求め、前記波数ベクトルのそれぞれの組に関する数2で定義される量Cを計算し、前記数2で定義される量Cの総和を得る信号処理手段を具備することを特徴とする光学部品検査装置。【数1】【数2】
IPC (4件)：
G01M 11/00
, G01B 11/30 102
, G01N 21/47
, G01N 21/88
G01M 11/00 T
, G01B 11/30 102 Z
, G01N 21/47 Z
, G01N 21/88 D
