特許
J-GLOBAL ID：200903071449963288
2つの光源を用いた透過型光走査トンネル顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-036885
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197541
出願日： 1997年01月14日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】 試料表面が傾斜をもつ部分においても、正確な試料形状の測定を可能にする。【解決手段】 レーザ光源4とレーザ光源5により試料1を同時に照明し、90度の位相ずれをもつ変調信号を用いることで2つの光源による信号を分離して検出し、それぞれの信号強度を調整した後の平均、または差に基づいて、試料表面形状を測定する。
請求項（抜粋）：
試料表面に照射するための照明光を発生する2つの照明光源と、前記2つの照明光により試料表面に誘起されるエバネセント波を検出する光ファイバープローブと、前記光ファイバープローブにより検出されたエバネセント波強度信号を前記2つの照明光源のいずれに由来するかにより2つの信号に分離する信号分離手段と、試料表面の傾斜していない部分において前記の分離された2つの信号の強度が等しくなるように調整し、2つの調整された信号を得る信号調整手段と、前記2つの調整された信号の平均を計算し、平均信号を得る信号処理手段と、前記平均信号に基づいて試料表面の形状を測定する形状測定手段とを備えることを特徴とする透過型光走査トンネル顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
