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J-GLOBAL ID：201002249248768291   整理番号：10A1146946

多層膜ミラーによるSub-10nm硬X線集光システムの開発

著者 (9件)： 三村秀和 (大阪大) ,  木村隆志 (大阪大) ,  横山光 (大阪大) ,  今井将太 (大阪大) ,  湯本博勝 (高輝度光科学研究セ) ,  松山智至 (大阪大) ,  佐野泰久 (大阪大) ,  石川哲也 (理研) ,  山内和人 (大阪大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2010  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.K31  発行年： 2010年09月10日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： SPring-8などの放射光施設において,X線集光システムは,様々な顕微鏡システムの性能向上に欠かせない。本研究の目的は,高精度に作製された多層膜ミラーにより硬X線を10nmサイズまで集光することである。本発表では,2枚のPt/C多層膜ミラーを用いた集光システムの概要,集光ミラーの設計,SPring-8での集光実験の結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： 多層膜 ,  *硬X線 ,  *集光器 ,  放射光施設 ,  白金 ,  炭素 ,  *反射鏡 ,  *X線ミラー

分類 (1件)： X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 多層膜ミラー ,  硬X線 ,  集光 ,  開発