特許

J-GLOBAL ID：201403032771502347

シリコン膜およびリチウム二次電池

発明者： 野田 優 ,  諸隈 慎吾 ,  山本 武継
出願人/特許権者： 住友化学株式会社 ,  国立大学法人 東京大学
代理人 (2件)： 中山 亨 ,  坂元 徹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-280187
公開番号（公開出願番号）：特開2011-122200
特許番号：特許第5473576号
出願日： 2009年12月10日
公開日（公表日）： 2011年06月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 SiまたはSi化合物からなるアスペクト比20以上の柱状構造の集合体である柱状集合体を複数有するシリコン膜を有する電極。

IPC (2件)：

C23C 14/14 ( 200 6.01) ,  H01M 4/38 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C23C 14/14 A ,  H01M 4/38 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 多結晶Si薄膜の堆積法、多結晶Si薄膜及び光起電力素子並びにターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-067881   出願人：キヤノン株式会社
• 蒸着膜とこれを用いた光路偏向素子、空間光変調素子、及び投射型画像表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-352291   出願人：株式会社リコー
• 防曇膜の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-071431   出願人：富士フイルム株式会社
• 蒸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-295144   出願人：松下電器産業株式会社