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J-GLOBAL ID：202102220390800305   整理番号：21A2600283

プラズマCVM加工におけるガス組成と最適加工ギャップの関係

著者 (5件)： 北出隼人 (大阪大 大学院工学研究科) ,  孫栄硯 (大阪大 大学院工学研究科) ,  川合健太郎 (大阪大 大学院工学研究科) ,  有馬健太 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集  (精密工学会関西地方学術講演会講演論文集)
巻： 2021  ページ： 60-61  発行年： 2021年06月30日 
JST資料番号： L6024A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 我々は難加工材料である反応焼結SiC(RS-SiC)材の加工技術として,プラズマCVMの適用を検討している.プラズマCVM加工において,プラズマヘッドと基板間の距離によってエッチングレートや加工痕形状は変化する.また,ガスの組成によってプラズマの形状や長さが変化し,エッチングレートのギャップ依存性も異なると考えられる.本報では,ガス組成と最適な加工ギャップの関係について調査・考察した.(著者抄録)

シソーラス用語： 高圧 ,  *プラズマ ,  セラミック ,  耐摩耗性 ,  摩耗 ,  ラジカル ,  加工性 ,  化学反応 ,  アルゴン ,  ケイ素 ,  炭化ケイ素 ,  塑性変形 ,  プラズマエッチング ,  シリコンウエハ ,  加工精度 ,  機械的性質 ,  耐性 ,  性質
準シソーラス用語： 工作精度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： プラズマCVM ,  ガス組成 ,  ギャップ