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J-GLOBAL ID：200902231512223277   整理番号：09A1005785

硬X線用高精度波面制御システムの開発

著者 (11件)： 木村隆志 (大阪大 大学院) ,  半田宗一郎 (大阪大 大学院) ,  山川大輔 (大阪大 大学院) ,  湯本博勝 (高輝度光科学研究セ) ,  三村秀和 (大阪大 大学院) ,  松山智至 (大阪大 大学院) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院) ,  石川哲也 (高輝度光科学研究セ) ,  石川哲也 (理研) ,  山内和人 (大阪大 大学院) ,  山内和人 (超精密科学研究セ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2009  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.C06  発行年： 2009年08月25日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,X線集光ミラーに存在する多層膜積層誤差や形状誤差による収差を補正し,理想的な集光を実現するための高精度波面補正ミラーの開発を行った。硬X線領域で波面補正を行うのに必要な変形精度と安定性を満たすために,フィゾー型干渉計による形状フィードバックシステムを構築し,ミラー表面形状をサブナノメートル以上の粘度で任意に制御可能することに成功した。また,作製した波面補正ミラーを使用し,SPring-8BL29XUL1km長尺ビームラインにおいて,20keV硬X線集光ビームの波面補正実験を行った。結果,波面補正ミラーを変形させることにより,集光X線が変化しは波動光学に基づいて制御可能であることを確認した。(著者抄録)

シソーラス用語： *反射鏡 ,  集光 ,  *微細構造 ,  *計測 ,  形態 ,  *波面 ,  *制御 ,  *鏡 ,  性能評価
準シソーラス用語： *X線ミラー ,  *形状可変ミラー ,  *波面制御 ,  *微細構造測定 ,  表面形状

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (3件)： 硬X線 ,  波面制御 ,  開発