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J-GLOBAL ID：200902234677200670   整理番号：09A1005783

硬X線ナノ集光楕円筒面ミラーのための相対角度決定型スティッチング干渉法に基づく表面形状計測法の開発

著者 (10件)： 湯本博勝 (高輝度光科学研究セ) ,  三村秀和 (大阪大) ,  半田宗一郎 (大阪大) ,  木村隆志 (大阪大) ,  松山智至 (大阪大) ,  佐野泰久 (大阪大) ,  大橋治彦 (大阪大) ,  石川哲也 (高輝度光科学研究セ) ,  石川哲也 (理研) ,  山内和人 (大阪大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2009  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.C03  発行年： 2009年08月25日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 表面曲率半径数m~数10mを持つ硬X線集光ミラーの形状計測に対応するために,相対角度決定型のスティッチング干渉法に基づく計測装置の開発を行った。7keVのX線において25nmの回折限界集光径が得られる楕円筒面形状ミラーの表面形状計測を行った結果,ミラー長さ50mmにおいて計測再現性と確からしさPV3nmを実現し,ナノ集光ミラーの必要形状精度と同等の計測が可能となった。(著者抄録)

シソーラス用語： *形状測定 ,  *形態 ,  *反射鏡 ,  集光器 ,  *計測システム ,  性能評価
準シソーラス用語： *X線ミラー ,  *表面形状

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (9件)： 硬X線 ,  集光 ,  楕円 ,  ミラー ,  スティッチング ,  干渉法 ,  表面形状 ,  計測法 ,  開発