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J-GLOBAL ID：200902270881302569   整理番号：04A0265058

化学増幅型レジストの放射線誘起反応機構の研究-放射線化学初期過程と解像度の関係-

著者 (6件)： 古沢孝弘 (大阪大 産科研) ,  佐伯昭紀 (大阪大 産科研) ,  中野温朗 (大阪大 産科研) ,  岡本一将 (大阪大 産科研) ,  吉田陽一 (大阪大 産科研) ,  田川精一 (大阪大 産科研)
資料名： 日本原子力学会春の年会要旨集  (日本原子力学会年会要旨集)
巻： 42nd  号： 第1分冊  ページ： 236  発行年： 2004年03月11日 
JST資料番号： G0939A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子線リソグラフィは将来のナノテクノロジー産業において有力な...

シソーラス用語： *電子ビームリソグラフィー ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  放射線化学反応  (CB09020M)

タイトルに関連する用語 (8件)： 化学増幅型レジスト ,  放射線 ,  誘起反応 ,  研究 ,  放射線化学 ,  初期 ,  過程 ,  解像度