Si<sub>1-x</sub>Ge<sub>x</sub>/Si(001)構造における転位および歪の評価と制御技術

中塚理; 酒井朗; 近藤博基; 小川正毅; 財満鎭明

文献

J-GLOBAL ID：200902287690661003 整理番号：07A0913625

Si_1-xGe_x/Si(001)構造における転位および歪の評価と制御技術

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=07A0913625&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A0913625&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0508A") }}

著者 (5件)： , , , ,
資料名：
巻： 2007 号：エレクトロニクスソサイエティ 2 ページ： S.12-S.13 発行年： 2007年08月29日
JST資料番号： G0508A ISSN： 1349-1369 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

Si(001)基板上のSi_1-xGe<...

,...
,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A0913625&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0508A") }}

トランジスタ , 固体デバイス製造技術一般

, , , ,

前のページに戻る

Si1-xGex/Si(001)構造における転位および歪の評価と制御技術

Si_1-xGe_x/Si(001)構造における転位および歪の評価と制御技術