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J-GLOBAL ID：201102275627690273   整理番号：11A0955219

多層膜ミラーによる硬X線Sub-10nm集光と顕微鏡への応用

著者 (9件)： 三村秀和 (東大 大学院) ,  木村隆志 (大阪大 大学院) ,  横山光 (大阪大 大学院) ,  今井将太 (大阪大 大学院) ,  湯本博勝 (JASRI) ,  松山智至 (大阪大 大学院) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院) ,  石川哲也 (理研) ,  山内和人 (大阪大 大学院)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2011  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.G01  発行年： 2011年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 放射光施設において,X線集光ビームは様々な顕微鏡の空間分解能と検出感度の向上に不可欠である。本研究では,硬X線をSub-10nmサイズに集光することを目的としている。Pt/C多層膜集光ミラー,硬X線波面補正計測法,高精度ビームプロファイル計測法などを開発し,理想的な集光ビームを実現している。本発表では,2次元集光システムの開発と顕微鏡への応用を中心に報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： 多層膜 ,  空間分解能 ,  硬X線 ,  集光 ,  *反射鏡 ,  *放射光施設 ,  X線顕微鏡
準シソーラス用語： *X線ミラー

分類 (2件)： 光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 多層膜ミラー ,  硬X線 ,  集光 ,  顕微鏡 ,  応用