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J-GLOBAL ID:201302225472087220   整理番号:13A0853640

太陽電池用のO3に基づくバッチ原子層堆積AlOxのc-Si表面不動態化機構の詳細な研究

Detailed Study on the c-Si Surface Passivation Mechanism of O3-Based Batch Atomic Layer Deposited AlOx for Solar Cell Applications
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資料名:
巻: 60th  ページ: ROMBUNNO.29P-PA9-11  発行年: 2013年03月11日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2436-7613  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
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太陽電池 

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