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J-GLOBAL ID：201202290594736112   整理番号：12A0163731

CoおよびFe-B磁性膜被覆による高分解能磁気力顕微鏡探針の作製

Preparation of High-Resolution Magnetic Force Microscope Tips with Co and Fe-B Magnetic Film Coating

著者 (3件)： そね田和希 (中央大 理工) ,  大竹充 (中央大 理工) ,  二本正昭 (中央大 理工)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 111  号： 350(MR2011 25-33)  ページ： 33-40  発行年： 2011年12月08日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 先端半径5および3nmのSi探針をCoおよびFe-B合金膜で被覆することにより,磁気力顕微鏡(MFM)探針を作製し,被覆膜厚,被覆前のSi探針半径,および被覆膜の表面起伏がMFM分解能に及ぼす影響について調べた。分解能は探針形状および信号検出感度により影響された。被覆磁性膜厚の増加に伴い,被覆膜の残留磁化値が増大し,MFM信号検出感度が向上した。しかし,MFM探針の先端曲率半径が増大し,MFM分解能の低下を招いた。先端曲率半径5nmのSi探針を用いた場合,Co膜を18nm被覆したMFM探針で9.0nmの分解能が得られた。先端曲率半径が3nmのSi探針を用いた場合,分解能が7.8nmに向上した。また,Coの代わりにFe₈₂B₁₈合金の被覆膜(20nm)を用いることにより,MFM分解能が7.3nmまで改善された。Fe₈₂B₁₈膜は非晶質でSiに対する濡れ性が良いためMFM探針の表面起伏が改善され,滑らかで鋭い先端曲率を持つMFM探針を作製できた。本研究により高分解能なMFM探針の作製では,高い残留磁化値を持ち,かつ先鋭で滑らかな表面を持つ探針の実現が重要であることが示された。(著者抄録)

シソーラス用語： 磁性薄膜 ,  磁気力顕微鏡 ,  磁気探針 ,  高分解能 ,  コバルト合金 ,  鉄合金 ,  ホウ素含有合金 ,  *記憶媒体 ,  *顕微鏡観察 ,  *垂直磁気記録 ,  記録密度

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

タイトルに関連する用語 (7件)： CO ,  Fe ,  磁性膜 ,  高分解能 ,  磁気力顕微鏡 ,  探針 ,  作製