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J-GLOBAL ID：201302274422319147   整理番号：13A1345978

L1₀型規則構造を持つ強磁性合金膜の表面平坦性制御

Surface Flatness Control of Ferromagnetic Alloy Thin Films with L1₀ Ordered Structure

著者 (4件)： 板橋明 (中央大 理工) ,  大竹充 (中央大 理工) ,  桐野文良 (東京藝術大 大学院美術研究科) ,  二本正昭 (中央大 理工)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 113  号： 127(MR2013 6-13)  ページ： 7-12  発行年： 2013年07月05日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： L1₀構造を持つエピタキシャルFePd,FePt,および,CoPt合金薄膜を超高真空RFマグネトロンスパッタリング法によりMgO,SrTiO₃,LaAlO₃の(001)単結晶基板上に形成した。c軸方向と膜表面平坦性の制御を試みた。MgOとSrTiO₃基板上に形成したFePd膜はc軸が面直に向いたL1₀(001)単結晶膜であるのに対し,LaAlO₃基板上に形成したFePd膜およびいずれの基板上に形成したFePtとCoPt膜では,L1₀(001)結晶に加え,c軸が面内に存在する2種類のL1₀(100)結晶が形成された。膜と基板材料の組み合わせを選ぶことにより,c軸方向を面直にすることができることが示された。また,CoPt330構造を持つ平坦膜を形成する手法として,基板温度200°Cでの製膜後に600°Cの熱処理を施す2段階法を提案した。2段階法を用いてMgO基板上にFePd膜を形成した場合においても,c軸方向が面直となるように制御できた。2段階法と基板温度600°Cで製膜を行う1段階法を用いて形成した膜は同程度の規則度を持つことが分かった(S=0.6-0.7)。2段階法を用いた場合,5~40nm厚の膜で,算術平均粗さが0.2nm以下の平坦表面が実現された。一方,1段階法で形成した膜では,ファセットが発達した起伏を持った表面が形成された。L1₀構造を持つ極薄平坦膜の形成法として,2段階法が有効であることが示された。(著者抄録)

シソーラス用語： *合金 ,  *強磁性 ,  *金属薄膜 ,  エピタクシー ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  単結晶 ,  基板 ,  構造 ,  規則度
準シソーラス用語： 強磁性合金膜 ,  *合金薄膜 ,  エピタキシャル成長 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  単結晶基板 ,  規則構造 ,  規則性

分類 (2件)： 金属材料一般  (WE01000P) ,  強磁性共鳴,反強磁性共鳴,フェリ磁性共鳴  (BM07030P)

タイトルに関連する用語 (3件)： 強磁性 ,  合金 ,  平坦性