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J-GLOBAL ID：201402249369916556   整理番号：14A0161058

L1₀型規則構造を持つ磁性合金薄膜の構造解析

Structure Analysis of Magnetic Alloy Thin Film with L1₀ Ordered Structure

著者 (3件)： 大竹充 (中央大 理工) ,  板橋明 (中央大 理工) ,  二本正昭 (中央大 理工)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 113  号： 345(MR2013 26-34)  ページ： 27-32  発行年： 2013年12月05日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 強い垂直磁気異方性を持つL1₀型規則合金膜を形成するためには,磁化容易軸であるc軸の方位制御と高規則化が必要である。しかしながら,(001)配向の多結晶下地層,もしくは,単結晶基板上に膜形成を行うと,c軸が面直に向いたL1₀(001)結晶に加え,c軸が面内に存在するL1₀(100)結晶が混在する可能性がある。本研究では,反射高速電子回折(RHEED)およびX線回折(XRD)によるL1₀磁性合金膜の詳細な構造解析法を検討した。逆格子マップ測定(RHEED),極点図形測定(XRD),および,面直と面内格子測定(XRD)を用いたそれぞれの場合におけるc軸方位決定法を調べた。また,混在結晶を考慮した上で,規則度を算出した。面外および面内パターンにおける(001)超格子反射は,それぞれ,L1₀(001)およびL1₀(100)結晶の形成に対応しており,基本反射と強度を比較することによりそれぞれの結晶の正確な長距離規則度を求めた。そして,各結晶の体積比を考慮することにより膜全体での規則度を計算した。更に,代表的なL1₀磁性合金膜材料(FePt,CoPt,FePd,MnAl,FeNi,FeAu,FeRh)に対する規則度計算の簡略法を提案した。超格子と基本反射の強度比および格子定数6の2つのパラメータのみで算出が可能であり,正確な値との誤差は数パーセント以下であることが示された。(著者抄録)

シソーラス用語： 磁性合金 ,  *磁性薄膜 ,  *金属薄膜 ,  *金属間化合物 ,  垂直磁気異方性 ,  RHEED ,  X線回折 ,  規則合金 ,  *構造解析 ,  構成 ,  記憶媒体
準シソーラス用語： *L10型金属間化合物 ,  XRD ,  *合金薄膜 ,  磁気記録媒体 ,  薄膜形成

分類 (2件)： 磁性材料  (NA04040H) ,  電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

タイトルに関連する用語 (3件)： 磁性 ,  合金薄膜 ,  構造解析