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J-GLOBAL ID:201101018304570019
Update date: Feb. 20, 2024
Shimizu Yuki
Shimizu Yuki | Shimizu Yuki
Affiliation and department:
Job title:
Professor
Homepage URL (1):
https://lrd.eng.hokudai.ac.jp/
Research field (3):
Manufacturing and production engineering
, Machine elements and tribology
, Design engineering
Research keywords (3):
超精密制御
, 超精密加工
, 超精密計測
Research theme for competitive and other funds (20):
- 2022 - 2025 その場波面制御で自在に操る干渉定在波によるサブμm級自由微細構造の大面積露光創成
- 2020 - 2024 光コム次元変換光学とその場自律校正法の創出によるサブアトム級3次元超精密計測
- 2021 - 2024 Trial for the next generation "connected" ultra-precision optical metrology
- 2020 - 2023 透過フェムト秒レーザ熱検知プローブによる非接触・非破壊サブサーフェス評価への挑戦
- 2018 - 2021 Form measurement of the next-generation optical components by the dimension-conversion-type multi-beam optical angle sensor capable of detecting multiple information
- 2018 - 2020 A new method for precision displacement measurement based on the heat-flow detection by a micro thermal sensor combined with grating pattern structures
- 2015 - 2020 Frontier of the precision optical metrology created by the ultra-precision optical nano-grid reference artifact and the absolute optical scale comb
- 2015 - 2020 超高精度ナノグリッド基準と光絶対スケールコムの創出が拓く精密光計測フロンティア
- 2016 - 2019 次世代の超精密ナノ計測を実現する光ナノグリッド基準の自律校正
- 2015 - 2019 2軸干渉グリッド定在波一括転写と自律的精度保証による次世代光ナノグリッド基準創出
- 2017 - 2019 Nanometric surface defect inspection based on the heat flow detection and the collaborative development of a compact scale for measurement of a nanometric displacement(Fostering Joint International Research)
- 2015 - 2018 Defect detection for next-generation smoothly finished substrates based on a heat balance generated at a tiny gap
- 2015 - 2017 Development of an optical method for evaluation of three-dimensional tool edge form with a high resolution beyond the diffraction limit
- 2014 - 2016 A study for sub-nanometer ultra-high precision measurement method of micro cutting edge of diamond tool
- 2013 - 2015 Defect detection method utilizing micro-thermal balance at the nanometric gap for nanometric-smooth surface inspection
- 2012 - 2015 Development of a three-axis laser autocollimator for measurement of angular error motions of a next-generation ultra-precision positioning stage
- 2012 - 2014 A new scanning electrostatic force microscope for noncontact surface profile measurement of micro-specimens of bio-optics
- 2012 - 2014 超精密加工用ダイヤモンド工具刃先のナノ・マイクロ摩耗定量評価技術の開発
- 2011 - 2013 熱検知接触型センサによるウェハ表面欠陥の高感度検出技術に関する研究
- 2011 - 2012 Development of the thermal contact sensor for inspection of defects on wafer surface
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Papers (250):
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Nozomu Takahiro, Yuki Shimizu. A Technique for Estimating the Pitch of Interference Fringe Patterns for Pattern Exposure in a Non-Orthogonal One-Axis Lloyd’s Mirror Interferometer. International Journal of Automation Technology. 2024. 18. 1. 18-25
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Hiraku Matsukuma, Masashi Nagaoka, Hisashi Hirose, Ryo Sato, Yuki Shimizu, Wei Gao. Repetition Frequency Control of a Mid-Infrared Ultrashort Pulse Laser. International Journal of Automation Technology. 2024. 18. 1. 84-91
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Hyunsung Lim, Yuki Shimizu. Feasible Resolution of Angular Displacement Measurement by an Optical Angle Sensor Based on Laser Autocollimation. Nanomanufacturing and Metrology. 2023. 6. 1
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Nozomu Takahiro, Yuki Shimizu. Demonstration of a non-orthogonal Lloyd’s mirror interferometer with a spatial light modulator for arbitrary two-dimensional pattern fabrication. Optics Letters. 2023. 48. 21. 5475-5475
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Ryo Sato, Yuki Shimizu, Hiroki Shimizu, Hiraku Matsukuma, Wei Gao. Confocal probe based on the second harmonic generation for measurement of linear and angular displacements. OPTICS EXPRESS. 2023. 31. 7. 11982-11993
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MISC (118):
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Wei Gao, Yuki Shimizu. Optical metrology for precision engineering. Optical Metrology for Precision Engineering. 2021. 1-644
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佐藤遼, 清水裕樹, 仲村拓, 松隈啓, 高偉. モード同期レーザーを用いた共焦点プローブ. 光アライアンス. 2020. 31. 2
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松隈啓, 阿隅結夢, 長岡将史, 清水裕樹, 高偉. 中赤外線レーザの開発とレーザオートコリメーション法への適用. 精密工学会大会学術講演会講演論文集. 2020. 2020
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清水裕樹, 高園翔太, 神田悠利, 松隈啓, 稲場肇, GAO Wei. Feasibility study on an encoder system employing a micro thermal sensor head. 精密工学会大会学術講演会講演論文集. 2020. 2020
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清水裕樹, 松隈啓, 高偉. 精密位置決め技術の最新動向と要素技術を活かした設計への展開 PART1 最新の位置決め技術 解説1 精密位置決めのための多軸センサ活用. 機械設計. 2020. 64. 9
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Patents (15):
Books (3):
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Measurement and Instrumentation
朝倉書店 2017
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Micro-Cutting: Fundamentals and Applications
Wiley 2013
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Nanofabrication
INTECH 2011 ISBN:9789533079127
Lectures and oral presentations (139):
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精密エンコーダによる多軸精密計測
(一般社団法人電気学会 精密サーボシステムに関する調査専門委員会 2018)
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光周波数コムを用いた角度計測について
(精密工学会大会学術講演会講演論文集 2018)
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マイクロ熱検知センサを利用したエンコーダに関する研究
(精密工学会大会学術講演会講演論文集 2018)
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Development of a prototype micro thermal sensor probe for non-destructive surface defect detection
(6th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2018) 2018)
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Uncertainty analysis of a six-degree-of-freedom surface encoder for a planar motion stage
(The 15th CIRP Conference on Computer Aided Tolerancing (CIRP CAT 2018) 2018)
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Education (3):
- - 2009 Nagoya University Graduate School, Division of Engineering 機械理工学専攻
- - 2002 Tohoku University Graduate School, Division of Engineering 機械電子工学専攻
- - 2000 Tohoku University Faculty of Engineering 機械電子工学科
Professional career (1):
- 博士(工学) (Nagoya University)
Work history (5):
- 2021/10 - 現在 Hokkaido University Faculty of Engineering Division of Mechanical and Space Engineering Professor
- 2020/04 - Department of Finemechanics, Tohoku University Associate Professor
- 2016/04 - Department of Finemechanics, Tohoku University Associate Professor
- 2011/02 - 東北大学大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 Associate Professor
- 2002/04 - 2011/01 株式会社日立製作所 機械研究所/中央研究所/研究開発本部 研究員(2006~)
Committee career (19):
- 2022/04 - 現在 日本機械学会 マイクロ・ナノ部門 委員
- 2021/04 - 現在 日本トライボロジー学会 編集委員
- 2021/04 - 2023/03 日本機械学会 IIP部門 広報委員会委員長
- 2020/04 - 2021/03 日本機械学会 広報委員会副委員長
- 2020/04 - 2021/03 日本トライボロジー学会 編集委員会
- 2019/04 - 2020/03 日本機械学会 広報委員会幹事
- 2016/04 - 2018/03 精密工学会東北支部 事業幹事
- 2014/08 - 2016/08 砥粒加工学会 用語集改訂WG
- 2014/04 - 2016/03 精密工学会東北支部 庶務幹事
- 2012/04 - 2015/03 日本機械学会 会誌編修部会委員
- 2012/08 - 2014/07 日本トライボロジー学会 研究委員会委員
- 2012/04 - 2014/03 精密工学会東北支部 会計幹事
- 2012/04 - 2014/03 精密工学会東北支部 会計幹事
- 2011/03 - 2011/11 ITC2011 Hiroshima セッションオーガナイザー
- 2011/03 - 2011/11 ITC2011 Hiroshima セッションオーガナイザー
- 2011/08 - 日本機械学会 東北支部第47期総会・講演会 実行委員
- 2011/08 - 日本機械学会 東北支部第47期総会・講演会 実行委員
- 2009/04 - 2011/03 日本トライボロジー学会 第3種研究会「ファイル記憶のトライボロジー」幹事
- 2009/04 - 2011/03 日本トライボロジー学会 第3種研究会「ファイル記憶のトライボロジー」幹事
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Awards (25):
- 2022/12 - 一般財団法人FA財団 FA財団論文賞 An absolute surface encoder with a planar scale grating of variable periods
- 2022/03 - JSPE Best Paper Award An absolute surface encoder with a planar scale grating of variable periods
- 2021/12 - FA Foundation paper award Design optimization of a non-orthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of a large-area two-dimensional scale gratings
- 2021/03 - Japan Society for Precision Engineering Numata Memorial Award Design optimization of a non-orthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of large-area two-dimensional scale gratings
- 2019/03 - JSPE Numata Memorial Paper Award Design and testing of a compact non-orthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of large-area two-dimensional scale grating
- 2018/11 - IEEE 2018 International Conference on Advanced Manufacturing Best Conference Paper Award Theoretical calculation of the reading output from a micro thermal sensor for precision positioning
- 2018/06 - 公益財団法人 工作機械技術振興財団 工作機械技術振興賞(論文賞) An optical lever by using a mode-locked laser for angle measurement
- 2018/05 - 一般財団法人みやぎ産業科学振興基金 みやぎ産業科学振興基金研究奨励賞 国家標準にダイレクトにリンクした超高精度・高安定精密角度計測に関する研究
- 2018/03 - 公益社団法人精密工学会 精密工学会論文賞 An optical lever by using a mode-locked laser for angle measurement
- 2017/11 - 一般社団法人 日本機械学会 生産加工・工作機械部門 一般社団法人 日本機械学会 生産加工・工作機械部門 優秀講演論文表彰 Ultra-precision angle sensor with a mode-locked laser source
- 2017/11 - The conference Committee of CJUMP2017 The 13th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2017) Best Paper Award
- 2017/09 - The conference Committee of ISMTII2017 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments 2017 Xi’an (ISMTII2017) Best Paper Award Non-contact detection of surface defects by using a micro thermal sensor
- 2016/08 - The conference Committee of nanoMan2016 The 5th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2016) Best Pawer Award Spindle Error Motion Measurement of Concentricity Gage by Using Laser Scan Micrometer
- 2016/04 - 文部科学省 科学技術分野の文部科学大臣表彰 若手科学者賞 微空間での熱収支と光を応用した超精密ナノ形状計測の研究
- 2015/11 - The Editorial and Review Committee of the 11th CJUMP Excellent Paper Award Investigation of the Deformation Mechanism of a Copper Workpiece during Nanoindentation by using Molecular Dynamics
- 2015/11 - The Editorial and Review Committee of the 11th CJUMP The 11th China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP2015) Excellent Paper Award Precision Measurement of Slide Straightness of an Ultra-Precision Lathe
- 2015/06 - 公益財団法人工作機械技術振興財団 工作機械技術振興賞・論文賞
- 2014/09 - International Measurement Confederation (IMEKO) Technical Committee TC14 Excellent Paper Award Design of an optical system for evaluation of edge contour of a diamond cutting tool
- 2013/11 - Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology ASPEN Young Researcher Award
- 2012/07 - International Society of Nanomanufacturing Excellent Presentation Award Design of a Micro-sized Thermal Contact Sensor for Inspection of Surface Defects
- 2012/05 - 一般社団法人日本トライボロジー学会 日本トライボロジー学会 2011年度日本トライボロジー学会技術賞 ヘッド組み込み型熱検知センサを用いた磁気ディスク表面のナノ微小欠陥検出技術
- 2010/08 - ASME Information Storage and Processing Systems (ISPS) Division ASME ISPS2010 Best Conference Industry Paper Award
- 2009/04 - 社団法人日本機械学会 2009年 日本機械学会奨励賞 (技術)
- 2003/03 - 社団法人精密工学会 2002年度精密工学会沼田記念論文賞
- 2000/12 - 社団法人精密工学会 精密工学会東北支部2000年度支部講演会 優秀講演奨励賞
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Association Membership(s) (4):
砥粒加工学会
, 日本トライボロジー学会
, 精密工学会
, 日本機械学会
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