特集 CAD/CAM/CAE 半導体設計におけるスーパーコンピュータの応用

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J-GLOBAL ID：200902069102396628 整理番号：90A0365461

Application of supercomputers to semiconductor design.

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資料名：
巻： 72 号： 3 ページ： 219-226 発行年： 1990年03月
JST資料番号： F0062A ISSN： 0367-5874 CODEN： HITAA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

半導体製造過程での酸化プロセスと成膜における応力を解析する2...

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固体デバイス製造技術一般

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