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J-GLOBAL ID：200902235409599779   整理番号：05A1019156

ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション(第2報)-マスキング作用の加工条件依存性と3次元微細構造への応用-

Micro-Fabrication of Single Crystal Silicon by Using Combination Technique of Nano-scale Machining and Alkaline Etching (2nd Report)-Dependence of Masking Effect on Machining Conditions and Application to 3 Dimensional Microstructure-

著者 (7件)： 川堰宣隆 (富山大 大学院理工学研究科) ,  LIAO Guoxin (千葉大 大学院自然科学研究科) ,  森田昇 (富山大 工) ,  山田茂 (富山大 工) ,  高野登 (富山大 工) ,  大山達雄 (富山大 工) ,  芦田極 (産業技術総合研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 70  号： 12  ページ： 1544-1548  発行年： 2004年12月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 摩擦力顕微鏡(FFM)によるナノスケール機械加工(FFM加工...

シソーラス用語： 単結晶 ,...
準シソーラス用語： マイクロファブリケーション ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (21件)：

• EIGLER, D. M. Positioning Single Atoms with a Scanning Tunneling Microscope. Nature. 1990, 344, 524
• KOLB, D. M. Nanofabrication of Small Copper Clusters on Gold (111) Electrodes by a Scanning Tunneling Microscope. Science. 1997, 275, 21, 1097
• 芦田極. 摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究 (第1報, FFM一体型加工評価装置の試作). 日本機械学会論文集 (C編). 1998, 64, 626, 4072
• 芦田極. 摩擦力顕微鏡機構を用いた極微小な機械加工の研究 (第2報, FFM一体型加工評価装置を用いた微細加工の特性). 日本機械学会論文集 (C編). 1998, 64, 626, 4079
• 左光大和. AFMによる原子スケールの加工法の研究. 精密工学会誌. 1995, 65, 12, 1121

タイトルに関連する用語 (11件)： ナノスケール ,  機械加工 ,  アルカリエッチング ,  併用 ,  単結晶シリコン ,  マスキング ,  加工条件 ,  依存性 ,  3次元 ,  微細構造 ,  応用