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J-GLOBAL ID：200902290637090801   整理番号：06A0047839

低温触媒CVD装置の開発-有機ELディスプレイ用水蒸気バリア膜の形成-

Development of Catalytic Chemical Vapor Deposition Systems for Flexible Organic Light-Emitting Diode Displays

著者 (11件)： 部家彰 (石川県工試) ,  高野昌宏 (石川県工試) ,  米沢保人 (石川県工試) ,  南川俊治 (石川県工試) ,  仁木敏一 (石川製作所) ,  室井進 (石川製作所) ,  南茂平 (石川製作所) ,  大薗哲郎 (北陸先端科学技術大学院大) ,  増田淳 (北陸先端科学技術大学院大) ,  梅本宏信 (北陸先端科学技術大学院大) ,  松村英樹 (北陸先端科学技術大学院大)
資料名： 石川県工業試験場研究報告  (Report of the Industrial Research Institute of Ishikawa)
号： 54  ページ： 17-22  発行年： 2005年12月01日 
JST資料番号： F0740A  ISSN： 0289-8934  CODEN： IKSHE3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 触媒CVD(Cat-CVD)法を用いて,有機エレクトロルミネ...

シソーラス用語： *ELディスプレイ ,...
準シソーラス用語： 低温触媒CVD ,...

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分類 (2件)： 表示機器  (NC06030Q) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (6件)： 低温 ,  触媒CVD ,  開発 ,  有機ELディスプレイ ,  水蒸気 ,  バリア